184科技桂冠技术难
夏盛麒麟公司是在4118年10月正式成立的一家专攻光刻机和高端芯片的企业,由夏为公司和鸿盛公司抽调精兵强将组建的。
董事长由夏为尹总担当,王守柱和王媛为副董事长,余向东为CE0,张冲志为隐形技术总监。
光刻机的设计已由张冲志借助黑星,并且融合兰斯麦和尼康的技术,优化后设计出来。
芯片生产线也由张冲志结合长岛国、东罗马国、新陆国等最先进的技术,优化改进后设计出来。
其中许多关键设备都由轩辕鸿盛集团制造出来,这条生产线一旦建设完成,将成为世界上最先进的生产线,没有之一,是超越叶积电的存在。
这接近一年的时间里,整个夏盛麒麟公司的所有员工在研究各种材料,不停地试错,争取寻找到一种材料,加工成零部件,装配到光刻机上,使光刻机发挥出设计的功能来。
公司同时研发制造三台光刻机。
现在购买一台兰斯麦超浸润光刻机是1.5亿新元以上,而夏盛麒麟公司的研发费用是它的许多倍。
即使有张冲志的设计和鸿盛集团强悍的零件加工能力,每台研发费用也最少在4亿新元以上。
再加上芯片生产线,夏盛麒麟公司这段时间已吞金200亿玄元以上,外界却没有听到一点响动。
虽然有些视频、报纸不时出个“标题党”,忽悠一下大众,内容全是扑风捉影,引不起什么动静来。
三台光刻机的加工精度当时是2纳米,可是在制作过程中,夏盛公司发现这个难度太大,于是就降低了一下标准,计划先制造生产5纳米芯片的光刻机。
现在各项工作已完成95%,只剩余5%没有完成,但是就这5%才是这光刻机的核心所在,体现了科技制造水平的高低。
就象你将一门大炮全部都造好了,最后发现无法造出大炮发射拴,那这门大炮也就失去了作用。
张冲志进了夏盛公司,换好无尘服直接去了三台光刻机的组装车间,兜里装着黑星。
这个装配车间是在地下,为恒温无尘车间,由于没有最后完成,所以外壳没有按装上,裸露着各种导线和零件。
但没有实验里那样粗糙的工艺,所有的零件看上去乱中有序,当你再仔细观察时,就会有种精美艺术品的感觉。
你会发现所有能利用的空间都被利用起来,每一根细线都在它应该在的位置上,这就是经过优化后的设计,那怕是裸露着,也给人一种美感。
光刻机包含着13个分系统,3万多个机械体,200多个传感器,要想保证光刻机正常运行,每一步的准确率必须达到99.99%以上,尺寸的调整要达到百万次以上。
兰斯麦每年只能生产20台,每一台都被人虎视眈眈的订着。
超浸润光刻机的光源波长为13.5纳米,被称为极紫外光源,经过收集后的功率为250w。
该光源产生的二氧化碳激光,要求必须精准打击到由发射装置发射出每秒高达50万滴的纯锡滴靶上面。
每一滴锡滴靶的直径为30微米,锡滴被蒸发后还不能污染反光镜。
镜头是光刻机的第二难点,由于超浸润极紫外光线太短,除了被空气吸收还会被玻璃吸收,所以采用反光镜。
镜面采用钼和硅制成的特殊膜,镀到反光镜的镜面才有效果,这些镜面凸起幅度不能超过0.3纳米,而镜面的直径是30厘米。
整个镜头采用布拉格反射器,但是每经过一次反射,极紫光的强度就要损失十分之三的能量。
而兰斯麦的光刻机中有11个反光镜,也就是说光源要经过11次反射后才能到达晶圆,在晶圆上刻线,最终仅能剩余2%的光线能量,所以对光源发射功率要求较大。
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